微電子光電子設備保持平穩發展

作為我國半導體設備骨干企業,中電科技集團48所在承擔集成電路高端核心裝備離子注入機等研發生產的同時 ,適時抓住了我國光伏產業形成和發展的契機,近三年來為太陽能電池行業和集成電路行業等提供了價值近5億元的半導體裝備.2007年預計將在連續兩年產量和經濟規模接近翻番的基礎上同比再增長50%以上,其中僅半導體設備銷售額將達到3億元.

48所生產的半導體設備主要有兩大類,一類是微電子和光電子設備,主要應用于集成電路、分立器件、電力電子、led等行業;一類是太陽能電池及材料制造設備,主要用于太陽能電池制造、硅材料加工等.2007年,48所微電子和光電子設備保持了一定增速的平穩發展,部分核心設備如離子注入機等進入大生產線并出口海外,MOCVD、CMP等生產型技術取得突破.

具有明顯制造業特征的IC產業、光電子產業和光伏產業未來十年在我國的發展依然會保持較高的復合增長率.集成電路前工序設備、LED設備和太陽能電池及材料制造設備仍將是48所的主要發展方向.我們將在現有設備的基礎上重點研發:集成電路行業所用的12英寸線寬小于90nm的高端離子注入機、薄膜平坦化設備、立式擴散氧化爐、CMP等; 藍光LED制造領域的生產型MOCVD;太陽能光伏領域的系列電池制造設備如環保大口徑擴散/氧化爐、管式PEC VD、超短快燒爐等;硅材料加工設備如單晶爐及大容量多晶硅鑄錠爐等.